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SiO2微粒子標準溶液: MSP Corporation 的 NanoSilica™Size Standards 是 SiO2顆粒的濃縮水懸浮液,具有高度均勻的尺寸分布。 這些粒徑標準目前提供的標稱尺寸範圍為(wei) 15 至 200 nm,非常適合為(wei) 下一代晶圓和光掩模檢測係統生產(chan) 高質量校準標準。
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